微纳加工实验室是北京大学校级开放平台，由北京大学纳米器件物理与化学教育部重点实验室承建，于2008年初投入使用，总面积1200平米，超净工作区面积380平米，是在北京大学2期985建设经费3000万元，3期211经费1200万元、自筹以及后续1500万元修购经费和学科建设经费的支持下建立并维持至今。

平台共配备电子束曝光、离子束加工、光刻、镀膜、刻蚀以及光、电测量等基本微纳加工和测量必需公用设备，为各院系相关科研工作顺利开展、进一步提高科学研究水平，为北大相关研究人员争取更多更大国家项目创造条件。